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一、洁净室排水系统应符合工艺设备排出的废水性质、浓度和水量等要求。有害废水应经废水处理，达到国家排放标准后排出。
二、洁净室内的排水设备以及与重力回水管道相连接的设备，必须在其排出口以下部位设水封装置，排水系统应设有完善的透气装置。
三、洁净室内地漏等排水设施的设置应符合下列规定：
1.空气洁净度等级严于6级的洁净室内不应设地漏。
2.6级洁净室内不应设地漏，如需设置时，应采用专门地漏。
3.空气洁净度等级等于或严于7级的洁净室内不宜设排水沟。
4.空气洁净度等级等于或严于7级的洁净室内不应穿过排水立管，其他洁净室内穿过排水立管时不应设检查口。
四、洁净厂房内应采用不易积存污物、易于清洗的卫生设备、管道、管架及其附件。
五、洁净厂房宜设置消防排水设施。
